超声波清洗机的发展和作用机理有哪些
超声波清洗技术经过几十年来的理论探讨和应用研究,无论设备还是工艺上均取得了较大的发展,有关单位相继研发了一批新的产品,也制定出了一些先进典型的清洗工艺。
1.高频超声清洗 对于象硅片表面小至零点几微米的超微污物粒子,常规的超声波清洗器无能为力,即便增加功率密度也无济于事。近年来发展了一种兆赫兹级的高频超声清洗技术,由于频率高,空化效应已不起做用,因此清洗的关键不是气泡,是高频压力波的擦洗超声波清洗设备做用,其对污物的去除率接近百分之百。高频清洗进来发展较快,主要用于超大规模集成电路芯片上的污物清洗,以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特种污物的清洗。 VGT系列超声波清洗机的作用机理主要有以下几个方面:因空化泡破灭时产生强大的冲击波,污垢层的一部分在冲击波作用下被剥离下来、超声波焊接机超声波焊接机分散、乳化、脱落。因为空化现象产生的气泡,由冲击形成的污垢层与表层间的间隙和空隙渗透,由于这种小气泡和声压同超声波清洗机步膨胀,收缩,象剥皮一样的物理力频频作用于污垢层,污垢层一层层被剥离,气泡继续向里渗透,直到污垢层被完全剥离。这是空化二次效应。超声波清洗中清洗液超声振动对污垢的冲击。超声加速化学清洗剂对污垢的溶解过程,化学力与物理力相结合,加速清洗过程。
主要性能及特点
1、附设溶液加热自动装置,温控范围:室温 2、附设超声清洗定时装置,1~60分钟内任意设定。 3、超声波频率有四种,可任选一种。